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クリーンルーム用空調機

外調機 クリーンルームを構成するさまざまな機器の中でも、空調機(外調機)は特に重要な設備です。現在クリーンルームに求められているのは空気清浄度(クリーン度)とともに安定した温湿度や汚染ガスの除去です。

空気の清浄度 安定した温湿度の確保
スクラッシャー(ケミカルワッシャー)

汚染ガスの除去とともに高性能な加湿ができる省スペース、省エネルギーのスクラッシャーの開発に成功しました。

特長
1. 省スペース、省エネルギー
  • 奥行き寸法 : 1,050mmの省スペース達成
  • 噴霧水量 (L/G) : 0.26~0.3の小水量達成
2. ガス除去率
NH390〜99%
SOx85〜95%
NOx35〜45%
NaCl80%
3. 年間を通じて安定したガス除去性能が得られます。
4. ケミカルフィルターの長寿命化が図られます。ケミカルフィルターの長寿命化が図られます。
5. 高飽和効率の加湿を実現できます。(安定した湿度制御が可能。)
スクラッシャー
スクラッシャーを組込んだ構成例
スクラッシャーを組込んだ構成例
蒸気加湿器

クリーンルームは冬期でも冷房要求のことが多く、加湿は低温(20℃以下)で行われ、一般の蒸気加湿器では、水滴の飛散、噴霧蒸気の再凝縮による水漏れなどのトラブルが起こります。

そこで当社では、クリーンルーム外調機の蒸気加湿器として、「マルチスタンド型」と「高拡散型」を開発しました。加湿前の温度条件、必要な加湿量(絶対湿度差)から適正に選定した加湿器を組み込むことにより、安定した露点の空気を供給することができます。

マルチスタンド型加湿器 高拡散型加湿器
蒸気加湿器を組込んだ構成例
蒸気加湿器を組込んだ構成例

ファン付ドライコイルユニット

クリーンルーム内の生産機器から発生する熱(顕熱)を冷却することを目的に開発されたのが、ドライコイルユニットです。さらに送風機を取り付けたものが、ファン付ドライコイルです。当社のドライコイル(冷却コイル)はさまざまな冷水条件、空気条件でも省エネで最適なコイルを選定することができます。水量に合わせた各種コイルヘッダー、限定されず自由に選定できるフィンピッチ、精度の高い計算が可能なコンピュータ選定プログラムがこれら「省エネ最適選定」を可能にしています。

特長
1. 大温度差対応・省エネコイルの最適選定が可能です。
2. 構成部材はオフガス対策品を使用しています。
3. 小型化設計により、施工性に優れています。
ファン付ドライコイルユニット