外調機
クリーンルームを構成するさまざまな機器の中でも、空調機（外調機）は特に重要な設備です。現在クリーンルームに求められているのは空気清浄度（クリーン度）とともに安定した温湿度や汚染ガスの除去です。
スクラッシャー（ケミカルワッシャー）
汚染ガスの除去とともに高性能な加湿ができる省スペース、省エネルギーのスクラッシャーの開発に成功しました。
- 特長
- 省スペース、省エネルギー
奥行き寸法 ： 1,050mmの省スペース達成
噴霧水量 (L/G) ： 0.26～0.3の小水量達成
- ガス除去率
NH3 ： 90〜99％
SOx ： 85〜95％
NOx ： 35〜45％
NaCl ： 80％ - 年間を通じて安定したガス除去性能が得られます。
- ケミカルフィルターの長寿命化が図られます。ケミカルフィルターの長寿命化が図られます。
- 高飽和効率の加湿を実現できます。（安定した湿度制御が可能。）
- 省スペース、省エネルギー
蒸気加湿器
クリーンルームは冬期でも冷房要求のことが多く、加湿は低温（20℃以下）で行われ、一般の蒸気加湿器では、水滴の飛散、噴霧蒸気の再凝縮による水漏れなどのトラブルが起こります。
そこで当社では、クリーンルーム外調機の蒸気加湿器として、「マルチスタンド型」と「高拡散型」を開発しました。加湿前の温度条件、必要な加湿量（絶対湿度差）から適正に選定した加湿器を組み込むことにより、安定した露点の空気を供給することができます。
ファン付ドライコイルユニット
クリーンルーム内の生産機器から発生する熱（顕熱）を冷却することを目的に開発されたのが、ドライコイルユニットです。さらに送風機を取り付けたものが、ファン付ドライコイルです。当社のドライコイル（冷却コイル）はさまざまな冷水条件、空気条件でも省エネで最適なコイルを選定することができます。水量に合わせた各種コイルヘッダー、限定されず自由に選定できるフィンピッチ、精度の高い計算が可能なコンピュータ選定プログラムがこれら「省エネ最適選定」を可能にしています。
- 特長
- 大温度差対応・省エネコイルの最適選定が可能です。
- 構成部材はオフガス対策品を使用しています。
- 小型化設計により、施工性に優れています。
